对于一般的扩散真空泵,真空泵体多做成直筒型;对于大型真空泵,也有用锥筒形或凸腔形真空泵体。由于圆筒形真空泵体便于加工，所以目前应用较多。真空泵口直径D<250mm的真空泵体用无缝钢管做成;大真空泵的真空泵体用4~10mm厚的钢板卷成圆筒焊接而成，焊缝不能漏气。真空泵内壁应抛光镀镍。

　　凸腔真空泵体可以在不增加真空泵口尺寸的情况下，使抽速得到较大的提高。凸腔真空泵体是将直筒形真空泵体改变成局部鼓形凸腔真空泵体。加工方法仍是用钢板焊接而成。真空泵的底部截面与真空泵法兰入口直径仍相同，只是真空泵体在入口法兰的下部扩大真空泵腔，扩大的直径延伸都第2级喷嘴射流直射到的真空泵壁处。由于真空泵体凸腔，扩大了抽气作用空间，增大了第一、二级喷嘴间通导能力，也就提高了抽速。

　　超高真空真空泵油也是很重要的问题。不适当的真空泵壁表面温度，使碰撞在扩散真空泵内表面的油蒸气分子不易凝聚，沿真空泵壁向下流的油层表面温度比真空泵壁温度高的较多，易于产生再蒸发，形成油蒸气返流。所以真空泵壁冷却效率要高。一般在真空泵壁外面焊上螺旋形铜管或做成水套形式(也可在水套中间装上螺旋形钢丝)。

　　真空泵冷却部位通常只限于蒸气流能喷射到的区域，这样可以使从上面冷凝下来的油在回到油锅前受到较高的热度，使溶解在油中的气体放出，避免它再混入油蒸气中进入各级喷嘴，影响真空泵的真空度。