真空泵机组工作原理：靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。罗茨真空机组是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似，由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。

　　由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

　　真空机组工作特点：①工作压力范围内抽速较快;②振动小，运转平稳;③摩擦小，不需要润滑即可获得较高的转速;④结构简单紧凑;⑤对气体中的灰尘和水蒸气不敏感;⑥压缩比较低，对氢气抽气效果较差;⑦转子表面加工和检查比较困难;⑧启动快，耗功少，运转维护费用低。

　　真空机组适用场合：罗茨真空机组广泛地应用于单晶炉、铸锭炉的配套上，以及镀膜、电工、冶炼、化工、陶瓷、航空、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应、高空模拟试验等，它不能单独使用，它可与滑阀真空泵、螺杆真空泵、旋片真空泵、水环真空泵等前级泵组成真空机组使用，获得更好的真空，更高的抽气效率。