爪式真空泵是为半导体工业发展而研制的，它具备哪些特点?我们就来在本文中简单的了解一下：

　　1)泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。

　　2)抽气元件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min)。

　　3)与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。

　　4)在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。

　　5)该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，电气监控及报警装置。

　　6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。

　　7)第二、三、四级均有净化入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。

　　8)入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系统有可靠得保护，杜绝了向真空室的返流。

　　9)电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。

　　当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。启动时门打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段通入，通净化气体对泵性能有影响。每当遇到紧急情况可按停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化1min，净化结束马达再停车，关闭惰性气体截止阀。